铜基碳纳米管阵列可控制备与导热性能研究

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1、分类号O469学号140230011UDC密级公开开理学硕士学位论文铜基碳纳米管阵列可控制备与导热性能研究硕士生姓名柴乐浩学科专业物理学研究方向纳米电子学指导教师张学骜副教授国防科学技术大学研究生院二〇一六年十二月TheStudyoftheGrowthofCarbonnanotubesandtheThermalConductiveonCopperSubstrateCandidate:LehaoChaiAdvisor:Prof.XueaoZhangAdissertationSubmittedinpartialfulfillmentoftherequire

2、mentsforthedegreeofMasterofScienceinPhysicsGraduateSchoolofNationalUniversityofDefenseTechnologyChangsha,Hunan,P.R.China(December,2016)国防科学技术大学研究生院硕士学位论文目录摘要..........................................................................................................................

3、....................iABSTRACT...................................................................................................................ii第一章绪论...............................................................................................................................1

4、1.1碳纳米管简介................................................................................................................11.1.1碳纳米管的发现................................................................................................11.1.2碳纳米管的结构....................................

5、............................................................21.1.3碳纳米管的特性................................................................................................41.2CVD简介.....................................................................................................

6、...................61.2.1CVD介绍............................................................................................................61.2.2CVD生长机理解释..........................................................................................71.3铜基底CNT阵列的生长的现状及影响因素.............

7、.........................................81.3.1铜基底CNT阵列生长现状............................................................................81.3.2催化剂的影响...................................................................................................101.3.3缓冲层的影响....................

8、...............................................

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