基于afm调制脉冲电压下纳米加工研究

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1、浙江工业大学硕士学位论文基于AFM调制脉冲电压下的纳米加工研究摘要纳米技术发展的最终的目的是加工出特定功能的纳米器件。加工纳米量级结构是整个纳米技术的基础，已成为当前世界科学研究急需解决的问题。扫描探针显微镜(SPM)大大扩展了表面信息研究的空间，对纳米科学的发展起着重要的推动作用。基于AFM的电子束纳米光刻技术作为SPM纳米加工技术的一个重要分支，在理论和实验方面还不是非常成熟，需要进一步的研究和探索。本文对大气状态下基于AFM的电场加工进行了系统的研究和分析，以期探索一种加工出更加稳定、具有更快的加工速度、良好性能的氧化结构的纳米加

2、工方法。主要研究内容如下：研究样品一探针问的高密度电流如何受偏置电压和探针．样品间距的影响；研究探针与样品间的电场分布特点并对其进行Maflab模拟；研究AFM的氧化加工的动力学过程及大气环境下AFM电场诱导氧化机理及特性，为后续分析加工结果提供依据；利用AFM进行场致氧化加工，分析在直流偏置电压下偏置电压对氧化结构的影响及其结构特点，脉冲电压下脉冲幅值和脉冲频率对氧化结构的影响及其结构特点，分析在直流和脉冲电压下氧化结构不同的原因；验证在脉冲调制电压下的脉冲效应。关键词：纳米加工，扫描探针显微镜，扫描隧道显微镜，原子力显微镜，场致氧化

3、浙江工业大学学位论文RESEARCHoNNANoFABRICATIONBYMoDULAT耵畸GPULSEVoLTAGEBASEDoNAFMABSTRACTThefmalaimofNanotechnologyistofabricatespecialfunctionalapparatus．Fabricationofnanostructureisthebaseofthenanofabricationtechnology．Ithasbecomeaproblemforurgentresolutionintheareaofthecurrentwor

4、ldresearch．Scanningprobemicroscope(SPM)hasexpandedthespaceofthesurfaceinformationresearchconsumedly，itwillhavethehugepushfunctiontothedevelopmentofNanotechuology，BeingallimportantbranchofthenanofabricationtechnologyonSPM，electronbeamnanolithoglaphybasedonAFMisnotjustvery

5、matureinthetheoriesandexperiments，needsthefurtherresearchandinvestigation．ThedissertationstudyiesandanalyzesnaofabficafiontechnologybasedonAFMintheairtoexpecttofindagoodmethodofnanofabrication．Usingthiskindofmethod，wehavefasterspeedoffabricationandacceptgoodpropertiesoxi

6、dablestructure．Mainresearchcontentsinthedissertationare-m浙扛工业大学学位论文Studyinghowbiasesandtan—sampleseparahoniraluencethehi曲一intensitycurrentbetweentanandsample；Studyingtheelectricfielddistributionandcharacteristicsbetweentanandsample，andsimutatingtheelectricalintensitybetw

7、eenthemusingMatlabsoftware；StudyingdynamicsprocessofoxidablefabricationandthemechanismandcharacteristicsofoxidizafioninducedbyelectricfieldbasedonAFMintheair，providingtheoreticalbaseforanalyzingtheresultofnanofabrication；Experimentwithnanofabricationofnanometer．scalestru

8、cturesbyusinganatomicforcemicroscope，andanalyzingthedirectcurrentbiaseshaswhatinfluenceonoxidablestruct