入网仪器功能与主要应用范围

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1、-入网仪器的功能与主要应用范围01电子光学仪器0110透射电镜分为钨灯丝和场发射电子枪两种，后者为高分辨率型。具有极高的分辨率（原子级）和放大倍数（百万倍）的特点。可观察和记录试样的超微结构，微粒的形状和大小，试样可为材料（金属，陶瓷，半导体材料，无机材料，高分子材料等）和生物样品（动植物组织，细胞，细菌，病毒等）。样品的状态可以是固态（小块，片状，粉末）或悬浊液，但样品制备较复杂。配微衍射装置可得电子衍射花样图像，可鉴定物相，测定晶体对称性，薄晶微区点阵参数和薄晶厚度，提供晶体结构的三维信息。

2、配EDX（X射线能谱仪）附件可进行微区成分分析（B5~U92）。0120扫描电镜分为钨灯丝和场发射电子枪两种，后者为高分辨率型。具有很高的分辨率（可达1nm）和放大倍数（可达几十万倍），焦深长，样品制备方便等特点。图像有二次电子和背散射电子图像二次电子图像可观察和记录试样微观形貌和结构（微粒的形状和大小，晶界，空隙及其相互关系），金属材料的断裂性质，集成电路的缺损﹑腐蚀或掺杂等。试样可为材料（金属，陶瓷，矿石，半导体材料，集成电路，无机材料，高分子材料等）和生物样品（动植物组织，细胞，细菌，病毒

3、等）。样品的状态可以是固态（小块，片状，粉末）或悬浊液。背散射电子图像还可以得到成分不同引起的衬度反差图像，但分辨率比二次电子图像稍差。配EDX（X射线能谱仪）附件可进行表面微区（深度约1～5µm，体积约几个立方微米）成分分析（B5~U92）0130电子探针电子探针一般为X射线波谱型，以进行试样表面微区（深度约1～5µm，体积约几个立方微米）的成分分析（B5~U92）为主，有点，线（分布），面（分布）分析功能，可测定某一微区的元素成分（定性分析）和元素的含量（定量分析），也可测定某元素在样品表面

4、某条线上的浓度变化及测定某元素在样品表面一定面积内的浓度变化。同时，也可观察试样的微观形貌。试样可为材料（金属，陶瓷，矿石，半导体材料，集成电路，无机材料，高分子材料等）和生物样品。样品的状态可以是固态（小块，片状，粉末）或悬浊液。具有无损，快速检测的特点。0140电子能谱仪一种表面分析技术。一般具有XPS(X射线光电子能谱)和AES（俄歇电子能谱）功能。XPS，AES主要应用于获取材料试样表面（深度在10nm以内，AES＜3nm,XPS＜10.---nm）的元素组成（除H，He外的所有元素，特

5、别适合于轻元素），化学态（特别是XPS可通过结合能的位移得到元素价态的信息）和化合物分子结构等方面的信息。配氩离子溅射枪可进行深度剖析，得到沿深度分布的元素组成和价态变化的信息。目前新型的XPS，AES仪具有微区分析和成像功能，不但可得到表面某微区的元素组成，价态，而且可得到表面某微区的元素分布图。适用于表面分析，多相催化，吸附，腐蚀与污染，氧化或还原，摩擦等研究。试样可为材料（金属，陶瓷，矿石，半导体材料，无机材料，高分子材料等）。样品的状态是固态（小块，片状，粉末），AES的样品必须导电。可

6、配UPS（紫外光电子能谱）功能。UPS主要应用于分子（气相）体系，利用UP谱识别不同的分子组成，进行价电子结构和化学键的研究等。02离子光学仪器质谱仪质谱仪是将物质粒子转换成离子并通过适当的电场、磁场将它们按空间位置、时间先后、飞行轨道稳定与否实现质荷比分离，并检测强度后进行物质成份分析的仪器。质谱仪主要由进样系统、真空系统、电学系统、检测系统和数据处理分析系统组成。质谱仪一般分为有机质谱仪、无机质谱仪和同位素质谱仪等。0210有机质谱仪有机质谱仪基本工作原理：以电子轰击或其他的方式使被测物质离

7、子化，形成各种质荷比（m/e）的离子，然后利用电磁学原理使离子按不同的质荷比分离并测量各种离子的强度，从而确定被测物质的分子量和结构。  有机质谱仪主要用于有机化合物的结构鉴定，它能提供化合物的分子量、元素组成以及官能团等结构信息。分为四极杆质谱仪、离子阱质谱仪、飞行时间质谱仪和磁质谱仪等。有机质谱仪的发展很重要的方面是与各种联用仪（气相色谱、液相色谱、热分析等）的使用。它的基本工作原理是：利用一种具有分离技术的仪器，作为质谱仪的"进样器"，将有机混合物分离成纯组分进入质谱仪，充分发挥质谱仪的分

8、析特长，为每个组分提供分子量和分子结构信息。可广泛用于有机化学、生物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术和公安工作等特种分析方面。0220无机质谱仪无机质谱仪与有机质谱仪工作原理不同的是物质离子化的方式不一样，无机质谱仪是以电感耦合高频放电(ICP)或其他的方式使被测物质离子化。无机质谱仪主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面。分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。火花源质谱仪不仅可以进行