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时间:2018-11-17
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1、任务1、认识硅片的丝网印刷1、掌握制备电极的方法2、掌握丝网印刷的工艺流程3、知道烧结的作用1.晶体硅太阳电池片的电极正面电极(负电极)背面电极(正电极)背电场背电极正面电极主栅线正面电极子栅线2、电极制作的方法1、真空蒸镀法2、化学镀镍法3、丝网印刷法丝网印刷主要目的:在形成pn结和镀膜后的硅片的两面印刷正负电极和背场。印刷基本的要求是保证印刷图形的完整和对称,印迹饱满。烧结的目的:在高温下让印刷的浆料中的有机物挥发,同时让电极和硅片实现欧姆接触,并具有牢固的电极附着力与良好的可焊性,从而使由于光照产生的载流子被顺利的导出,实现太阳电池的光电转化。印刷烧结目的丝网印刷概念
2、把带有图案的模版附着于丝网上进行印刷通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成承印物直接放在带有模版的丝网下面,浆料在刮刀的挤压下穿过丝网间的网孔只有图像部分能穿过,印刷到承印物上丝网印刷步骤A加入浆料B刮刀施加压力朝丝网另一端移动C丝网与承印物之间保持一定的间隙D浆料从网孔中挤压到基片上E丝网张力而产生反作用力-回弹力F丝网与基片只呈移动式线接触G刮板抬起,丝网脱离基片H工作台返回到上料位置,完成一个印刷行程印刷车间岗位:接片,背电极印刷和烘干,AL(铝)背场印刷和烘干,正栅印刷和烘干,烧结。印刷工艺:印刷和烧结工艺的作用是制作太阳能电池的正负两个电极,AL背场除收集电流
3、外,还有对光的反射作用,进一步提高对入射光的利用率。丝网外观丝网印刷的结构背电极背电场正电极网版丝网网版调整参考Snap-off(网版间距)Park(网版正常停止位置)(-3000)μmSpeedupward(网版向上运动速度)(35)mm/s在保证印刷质量的前提下,网版间距越小越好一般为(-900~-1300)μm太小易粘版或模糊不清,过大易印刷不良和损坏网版印第二道时可适当加大间距丝网刮条调整参考Down-stop(刮条深度)Park(刮条正常停止位置)(5000)μmPressure(印刷压力)(50~70)N在保证印刷质量的前提下,刮条下降深度和压力越小越好刮条深度
4、一般为(-900~~-1300)μm刮条下降过深或压力过大,易碎片和损坏网版刮条下降深度不够或压力太小易印刷不良或粘版一号印刷机一号印刷机是印刷背极的设备,它主要是在硅片的背面用银浆印刷上背极,再经过烘干炉烘干后将硅片送入下道工序背面电极印刷(正极)作用:(1)与硅片表面和背场铝形成良好的欧姆接触,形成较低的接触电阻;(2)良好的可焊性,与镀锡带形成良好的接触,对外输出电流。所用浆料:Ag/Al浆第一道印刷所谓欧姆接触,是指金属与半导体的接触,而其接触面的电阻远小于半导体本身的电阻。1号烘箱:干燥硅片,保障下步印刷时已印刷的背电极免遭破坏。二号印刷机二号印刷机主要是在硅片上
5、通过铝浆的印刷形成背场,再通过烘干炉烘干后将硅片送入下道工序。背电场印刷作用:(1)收集背部载流子,传送到背电极(2)形成BSF,在硅片背面形成p+层可以减少金属与硅交界处的少子复合,从而提高开路电压和增加短路电流。所用浆料:Al浆第二道印刷2号烘箱:保障正电极印刷时背电场免遭破坏。三号印刷机是在硅片的表面用银浆印上正栅,在此工序我们必须特别要注意断栅的发生。三号印刷机正面电极印刷(负电极)作用:(1)收集载流子,对外输出光生电流(2)减少遮光面积,最大面积实现光电转换。所用浆料:Ag浆第三道印刷背电极印刷图案的设计方案1缺点:焊条为长条状,浪费了Ag/Al浆优点:一旦出现
6、碎片后,可以顺利的划成碎片方案2优点:可以大大节省Ag/Al浆,降低成本缺点:一旦出现碎片后,断成小片,利用率大大降低总结:尽量减少铝浆与银铝浆的重叠部分,在显微镜下观察两者重叠部分严重黑,即大量的有机溶剂没有充分挥发,这样就严重影响电池效率和填充因子。设计理念:降低背面载流子复合,控制电池烧结后弯曲度。厚度控制:太薄:与硅形成熔融区域而被消耗,较低的横向电导率。太厚:烧结时不能完全去除有机物;浪费浆料;引起弓片。背电场印刷图案的设计设计理念:提高电流的收集效率、低金属栅线电阻、低接触电阻、低遮光面积。正面电极印刷图案的设计LCW图案到电池边缘的距离L主栅线的距离C细栅线的
7、宽度W细栅线的条数N主栅线的形状栅线的封闭性正面电极工艺要求栅线高宽要求:尽可能大的高宽比目的:较小的宽度,减小遮光面积。较大的高度,增大的栅线横截面。意义:减少由于栅线遮光造成的电池功率失,同时较大栅线横截面可以降低栅线的体电阻从而降低由栅线电阻引起的功率损失。正面电极印刷图案的设计21烧结炉烧结炉分两个部分:1、烘干:将在三号机印刷号的正栅烘干,在它的外侧有一个显示器,可以直观的观察到烧结炉里面各部分温度;2、烧结:将印刷的整个硅片烧结成一个成品电池片,之前烘干并不能使各种浆料与硅片形成共晶体。烧结曲线较低温度
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