数字ic自动测试机关键技术的研究

《数字ic自动测试机关键技术的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、ABSTRACT分类号密级UDC学位论文数字IC自动测试机关键技术研究（题名和副题名）罗和平（作者姓名）指导教师姓名李平教授电子科技大学成都（职务、职称、学位、单位名称及地址）申请学位级别硕士专业名称微电子学与固体电子学论文提交日期2008.3论文答辩日期2008.5学位授予单位和日期电子科技大学答辩委员会主席评阅人年月日II摘要摘要集成电路(IntegratedCircuit，IC)测试是集成电路产业的一个重要组成部分，它贯穿IC设计、制造、封装、应用的全过程。集成电路晶圆（WaferTest）测试是集成电路测试的一

2、种重要方法，是保证集成电路性能、质量的关键环节之一，是发展集成电路产业的一门支撑技术。而IC自动测试设备(AutomaticTestEquipment，ATE)是实现晶圆测试必不可少的工具。论文首先介绍数字IC自动测试设备的硬件系统设计架构，分析了板级子系统的硬件结构及功能。重点讨论了数字IC自动测试设备中两种关键的测试技术：逻辑功能测试和直流参数测量，在系统分析其工作原理和测试方法的基础上，设计了硬件电路，并通过实验平台分别验证了电路的测试功能。在IC自动测试设备中，实现直流参数测量的模块称为参数测量单元（Param

3、etricMeasurementUnit，PMU）。PMU的测量方法有两种，加压测流和加流测压。为了验证所设计的直流参数测试单元硬件电路，在论文的第四章介绍了一种构建简单自动测试系统的验证方法。针对一种DC-DC开关电源转换芯片，论文首先详细分析了该芯片各项参数的测试原理，设计了以MCU作为控制核心、集成2个PMU和其他一些硬件电路的简单测试板；然后根据芯片的测试要求设计了流程控制程序；最后，通过实验验证了测试板的PMU能够满足参数测量精度要求。论文的最后部分，详细列出了直流参数测量单元验证板对19片WAFER的测试统

4、计数据。实验表明，PMU模块的电压测试精度为0.5%以内，微安级电流的测试精度为5%以内，自动测试过程中没有出现故障。验证了PMU模块能够满足数字IC自动测试设备的直流参数测试要求。关键词：集成电路测试，自动测试设备，逻辑功能测试单元，参数测量单元IABSTRACTABSTRACTIC(integratedcircuits)testplaysanimportantroleintheICindustryandisanindispensablepartofICdesign,fabrication,encapsulation

5、andapplication.ToverifythatICsworkasdesigned,thefirsttestingisperformedbyprobingtheICsdirectlyonthewafer,beforedicingandpackaging.OneofcriticalinstrumentemployedforwafertestisAutomaticTestingEquipment(ATE).Firstly,theconfigurationofanATEfordigitalICtestingisintr

6、oducedinthethesis,includinghardwareblocksandfunctions.Twofundamentaltesttechniquesofdigital-ICATE,thelogicfunctiontestingandDCparametertestingarealsohighlighted.Hardwareblockstorealizethistwotesttechniqueshavebeendesigned,implementedandverifiedinthethesis.Theblo

7、ckforDCparametertestingisnamedasPMU(ParametricMeasurementUnit)inATE.ThePMUperformsfourmeasurementfunctions:FV(forcevoltage)andFIMV(forcecurrent),FVMI(forcevoltagemeasurementcurrent)andFIMV(forcecurrentmeasurementvoltage).Amethodisalsopresentedforensuringtheperfo

8、rmanceofPMUtesting.Atestsystem,consistingofoneMCU,twoPMUsandperipheralcircuits,hasbeenimplementedandutilizedtotestwafersofaDC-DCconverterIC.Finally,thestatisticdataof