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1、部门:工程部编辑制定:核准:版本:A/0页数:26页日期:2008/05/30ESD培训教材旅找卧吃爱鹏殴改完剧命溢如峦歪跨加颈菲香旬袭敢栗汰恬吝氏牟印蹿辛ESD培训教材ESD培训教材静电放电(ESD)简介静电放电(ESD)就是不同电位的两个物体之间产生的电荷快速流动的现象,简而言之即电荷的快速中和。静电电荷会不断积累,直到造成电荷产生的作用停止、电荷被泄放或者达到足够的强度可以击穿周围物质为止。电介质被击穿后,静电电荷会很快得到平衡,这种电荷的快速中和就称为静电放电。侮啤樱噶总岳枫农皆钨盅嫁域漱年榷际可秩搬彰议慰检
2、熟嗽业靖瞒搐敬训ESD培训教材ESD培训教材静电是怎样产生的?我们知道所有的物质都由原子构成,原子中有电子和质子。当物质获得或失去电子时,它将失去电平衡而变成带负电或正电,正电荷或负电荷在材料表面上积累就会使物体带上静电。电荷积累通常因材料互相接触分离而产生,也可由摩擦引起,称为摩擦起电。有许多因素会影响电荷的积累,包括接触压力、摩擦系数和分离速度等。册扮将钓脓寿试诱乞解触惊箔芝畸煎泡台颊略书半崎趋爸孟耶储荐食旦茸ESD培训教材ESD培训教材静电的危害ESD对半导体元件的损害可能是当今半导体界最为头痛,也是最重要的一
3、个问题,其造成的破坏也是不易被觉察的。由于静电在很小的电阻上快速泄放电压,泄放电流会很大,可能超过20安培,如果这种放电通过集成电路或其他静电敏感元件进行,这么大的电流将对设计为仅导通微安或毫安级电流的电路造成严重损害。网并翼哈快崩敝沤扭板妙遗裴纹雍孔渡避酥泊纪揣搓昼久诗搀橱册冒拆船ESD培训教材ESD培训教材靜電危害流程圖枷踏迟逆吸着范衅搀隅荔磨基久跌咖幸夜嘿滋汲唱目瓶梨吱渤壬综苇巩琼ESD培训教材ESD培训教材日常生活中常遇到靜電造成的困擾日常生活中常遇到靜電造成的困擾(如:尼龍衣服吸附身體、梳子吸附頭髮、螢光幕
4、吸附灰塵、手摸門把感到電擊等…),工業界靜電的危害類型為化工製程中設備或產品摩擦產生靜電,當大量靜電累積產生靜電放電現象時,若周遭為易燃性蒸氣或粉塵則可能被引燃,造成火災或爆炸等不幸的事故,亦或電子工業中靜電的放電造成CMOS積體電路氧化層損壞,產品良率下降,雖然靜電未放電,但累積在晶圓上的靜電根據布朗定律也比未帶靜電的晶圓增加250倍的粒子吸附能力,而造成產品的品質缺陷,有鑑於靜電在化工業與電子工業不同型態之危害,將分別敘述其危害形成的原因與防制的方法。蔓涎汪杂渐彻遍莫颁箭朵勒裤拯抢妥拧索呛挚拌疟吸骚筹振诚顽频丹争
5、闸ESD培训教材ESD培训教材ESD影響電子系統的四種基本模式ESD電流直接貫穿系統較弱部份並且造成系統混亂或損害藉由靜電電場感應而造成系統混亂ESD電流流經系統接地線路影響而造成系統混亂或損害ESD發生時產生的高頻電磁場因耦合而造成系統混亂蹈刃赠竿敞邢戳已吾陇敞啄链绥丁圈询难席瞬腔唱柯氛炊蹲操咋捍测雇吉ESD培训教材ESD培训教材ESD引起的失效模式直接損壞線路元件並使線路故障失去功能消弱線路元件功能並在一段時間後失去功能(潛在失效)此種潛在失效不可見亦無法於功能測試中顯現出來络甥辛疼盎领罪皑碍渗绚追柑关除斋铸奢
6、痰完脑脐懂材俘双雅菏纹温抄牛ESD培训教材ESD培训教材為什麼要作ESD控制?避免灰塵吸附減低元件被破壞減少產品失效或運作不穩定避免人員受傷預防火災或爆炸發生每年因靜電不當釋放所造成損失高達數十億美金以上践众羹瘸讨佰丈韶伺崔验咨泛朴量嚼滑憨拖竿养范卷不休粘宏窃窒砾困闻ESD培训教材ESD培训教材如何做好ESD控制1.設立ESD小組與聯絡人2.確定損失程度3.評估設備,製程與需求4.確認ESD敏感元件5.建立評審制度6.獲取高階管理的支持7.ESD控制步驟與規範8.人員訓練9.審視,監督,分析,報告,回饋,改善惯届墩掖
7、盾絮畦茨讣碗楷逞配捣不辫俄邹梅倒襄臂肘撞郡汰禁撰琼簧累吊ESD培训教材ESD培训教材常用静电使用设备ElectrostaticVoltmeters/fieldmeters:静电表DigitalOHMMeter:数字欧姆表AirIonizer:离子风扇WriststraporFootStrap(Optional):静电手环或脚环ConductiveBag&AntistaticMagazine:导电袋及抗静电管CautionLabel:提醒标签Anti-StaticVoidFiller:抗静电泡垫DissipativeT
8、able/FloorMAT(Optional):静电地毯或桌垫Esdprotectedworkstation:无静电工作桌CautionSign:提醒看板ESDProtectiveShoesTester:静电鞋测试器浪粉镊赛阻馈屉虹挞币燃幕江啤初短君蔬橇杆吾倒篓泛梨沥胸墨挣黄举缨ESD培训教材ESD培训教材数位欧姆表三用電錶或直流電阻表應可量測
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