xps峰拟合规则及测试条件

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1、XPSPeak软件拟合数据的简单步骤:1.Excel中的数据转换成TXT格式从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点，copy至txt文本中，即ABC三列数据(其中B列为空的,只包含两列数据),从第三列数据非0的地方开始copy。2.XPSPeak41中导入数据打开xpspeak41分峰软件,在XPSPeakFit窗口中,从Data菜单中选择Import(ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线3.扣背底在打开的Region1窗口中，点击Backgrond，选择Boundary的默认值，即不改变HighBE和L

2、owBE的位置，Type一般选择Shirley类型扣背底4.加峰选择AddPeak，选择合适的PeakType(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位，需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3等，对于%Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾，点击Accept完成对该峰的设置。点DeletePeak可去掉此

3、峰。再选择AddPeak可以增加新的峰，如此重复。注意：%Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。加峰界面举例：对峰的限制constraints，峰1的峰位=峰0峰位+1.55.拟合选好所需拟合峰的个数及大致参数后，点XPSPeakProcessing中的OptimiseAll进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点OptimiseAll合适图谱6.参数查看拟合完成后，分别点XPSPeakProcessing窗口总的RegionPeaks下方的0、1、2等，可查看每个峰的参数，此时XP

4、S峰中变红的曲线为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点击OptimiseAll7.XPS存图点SaveXPS可将谱图存为.xps格式的图，下回要打开时点OpenXPS可以打开这副图，并可对图进行编辑8.XPS图的数据输出a.点击Data中的Export（spetrum），可将拟合好的数据存为.dat格式的ASCII文件（该文件可用记事本打开），然后再Origin中导入该ASCII文件，可得到一个包含多列的数据表，这里需要注意的是每列的抬头名称出错（如.dat文件中的RawIntensity分开到两列中作

5、为两列的抬头，即Raw、Intensity），这时需要根据做出的图与.xps原始谱图比较，更改每列的名称，即可得到正确的谱图b.点击Data中的Export（PeakParameters），即将各峰参数导出为.par格式的文件（也可用记事本打开），通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含量比c.点击Data中的Exporttoclipboard，即将图和数据都复制到剪贴板上，打开文档（如Word），点粘贴，即把图和数据粘贴过去，不过该图很不清晰d.点击Data中的Printwithpeakparameters，即可打印带各

6、峰参数的谱图峰拟合中的一些基本原则及参考资料:1.元素结合能数据可参考http://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx2.谱峰的曲线拟合应考虑：合理的化学与物理意义；合理的半高宽（一般不大于2.7eV，氧化物的半高宽应大于单质的半高宽）；合理的L/G比（XPSPeak41分峰软件中的%Lorentzian-Gaussian）为20%左右；对双峰还应考虑两个峰的合理间距、强度比等（详见下面的3，4项）。3.对于p、d、f等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电子能谱中一般省略/2，即为

7、p3、p1）强度比是一定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。4.对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离(doubletseperation)也基本上是固定的，如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右。各元素能级分裂数据可参考网上数据库http://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx中选择Dou

8、bletSeperation项5.全谱扫描((即Survey)中各峰对应的元素能级参考附件BELookupTable6.各元素不同化学状态结合能可参考附件《各元素化学状态表.pdf》，文件扫描自Phi公司出版的手册中的附录2，HandbookofX-rayPhotoelect