mems光开关的研究及市场分析__本科毕业设计论文.doc

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1、集成电路专业学年论文论文题目：MEMS光开关的研究及市场分析学院：电子工程学院年级：专业：姓名：学号：指导教师：毕业论文（设计）原创性声明本人所呈交的毕业论文（设计）是我在导师的指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除文中已经注明引用的内容外，本论文（设计）不包含其他个人已经发表或撰写过的研究成果。对本论文（设计）的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中作了明确说明并表示谢意。作者签名：日期：毕业论文（设计）授权使用说明本论文（设计）作者完全了解红河学院有关保留、使用毕业论文（设计）的规定，学校有权保留论文（设计）并向相关部门送交论文（设计）的电子版和纸质版。有权将论文（设计）用

2、于非赢利目的的少量复制并允许论文（设计）进入学校图书馆被查阅。学校可以公布论文（设计）的全部或部分内容。保密的论文（设计）在解密后适用本规定。作者签名：指导教师签名：日期：日期：I摘要光开关是光通信网络的重要功能器件,MEMS光开关是最具发展前景的光开关之一。在简介不同种类光开关原理特点的基础上，详细分析了当前主要的MEMS光开关的分类、结构、工艺与性能特点，并给出了研究与发展情况和采用MEMS体硅工艺制作的三种结构的微机械光开关。它们的工作原理都基于硅数字微镜技术。这三种光开关采用了静电力驱动，具有较低的驱动电压。在硅基上制作了光纤自对准耦合槽，并对光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析，

3、并进行结果分析。关键词微机械；光开关；开关阵列；微镜；硅-玻璃键合；光纤通信IIAbstractOpticalswitchisanimportantfunctionaldeviceinopticalfibrecommunicationnetworks,MEMSopticalswitchisoneofthemostpromisefulopticalswitches.Thispaperintroducesbasicprinciplesandcharactersofseveralkindsofopticalswitches,andillustratestheclassification,struc

4、tures,fabricationmethodsandfunctionalcharactersofcurrentMEMSopticalswitchindetails.AndrecentdevelopmentandprogressonthisresearchareaarepresentedandthreekindsofMEMSopticalswitcheswithdifferentmechanicalstructuresareproducedbythebulk-micromachiningprocesses.Theirprinciplesofoperationareallbasedonsili

5、condigitalmicromirrorstechnology.Theelectrostaticactuatorswithlowdrivingvoltageareusedinthethreekindsofopticalswitch.Thegroovesusedforopticalfibersbeingself-alignedcouplingaremadeonsiliconsubstratefordevice.Computersimulationandanalysisofon-offcharacteristicshowthatthesecondandthethirdopticalswitch

6、eshaveswitchingtime.KeywordsMEMS;opticalswitch;switcharray;micromirror;silicon-on-glassbonding；opticalfibercommunicationIII目录摘要............................................................................................................................................IAbstract.......................

7、............................................................................................................III前言.............................................................................................