PVD开关机流程

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1、PVD开关机流程1.开机1.1开启压缩空气总阀门，检查压缩空气阀门、管路、接头等有无漏声音，查看气压表。要求压力范围：0.4～0.6MPa。1.2开启靶冷却水和泵冷却水主管路阀门。在开启冷却循环水阀门时一定要先打开回水球阀，再打开进水球阀。查看水压表，要求压力范围：0.2～0.3MPa。1.3开启所有支路回水及进水阀门，检查循环水路有无漏点。1.4打开配电柜电源空气开关，三相电源指示灯亮。1.5启动计算机，将自动进入SLP-1800欢迎界面，点击任意位置进入系统操作主控制界面。1.6在主控界面，查看状态报警界面是否有红色闪烁，气泵压力检测1、气泵压力检测2、

2、水检测、急停键等状态指示是否有红色闪烁，听报警器是否有报警声。若系统报警，进入状态报警界面，查看报警状态，如无法自己排除，要及时通知设备维修人员。1.7正常进入控制系统界面时，所有门阀、前级阀、破空阀、截止阀、水泵、真空泵、变频器等都应为关闭状态。真空规显示值为系统关机后真空室压力上升的压力值。1.8手动预抽真空：使所有门阀、破空阀保持关闭状态。先观察溅射室与进、出片室的真空度，若溅射室与进/出片室压力差小于200Pa，可开启2、3、4、5门阀，与进、出片室共抽真空。（否则必须先开启进/出片室的机械泵与罗茨泵，将进、出片室压力抽至与溅射室压力差小于200Pa

3、后，方可开启2、3、4、5门阀抽真空。）分别打开进、出片室的机械泵，延时5秒钟，分别打开进、出片室的罗茨泵，延时5秒钟，打开进、出片室的预抽阀，共抽10个腔室的真空，依上面方法打开隔离室、溅射室的机械泵、罗茨泵。直至十室真空都小于5Pa以下（分子泵的开启条件）1.9顺序打开2-9室的前级阀，关闭2、3、4、5门阀，依次打开所有分子泵，当分子泵图标显示为绿色，转速显示为630时，说明分子泵进入稳定运行状态，系统开始抽高真空。1.10等待1、2、3室的烘烤温度达到工艺设定要求，等待2-9腔室的真空度达到1.0E-3Pa以下。1.11开启冷却循环水增压泵，在电源配

4、置中开启要使用的靶电源。打开MKS电源配电柜的主、支路电源开关。1.12开启工艺气体总阀门，调节减压阀，使低压表指示到20PSI，开启设备支路阀门。1.13点击“系统参数设置”，输入密码后，检查工艺参数设定是否正常，手动打开氩气阀，吹扫5分钟以上，开启工艺自动，空跑白玻璃20PCS以上，确认辉光、电阻、铝膜颜色正常。1.14完成以上步骤后，设备处于待机工作状态。注意：1、在真空腔室充气至大气压力前，真空室门不能打开。2、以上程序要在首班开始前准确无误地进行，否则会对太阳电池板的品质产生影响，并导致设备的损坏。3.2关机2.1点击“工艺自动”，系统停止工作。2

5、.2点击溅射电源禁止状态键，关闭MKS电源配电柜的主、支路电源开关。2.3关闭所有门阀，关闭进出片室的预抽阀，关闭进出片室的罗茨泵，延时5秒钟，关闭进出片室的机械泵。2.4关闭分子泵。将烘烤温度值设定为0度（停机小于8小时，不执行此动作）。2.5等待分子泵转速显示为0，其图标为灰色。等待烘烤温度降到20度以下2.6依次关闭所有前级阀，依次关闭所有罗茨泵，依次关闭所有机械泵。2.7进出片室充大气10秒钟，溅射室充氩气到100Pa。（停机小于24小时，不执行此步骤）。2.8退出SLP-1800系统操作界面，关闭计算机。2.9依次关闭设备配电柜电源、压缩空气、工艺

6、气体、冷却循环水。3.3安全作业要点及注意事项3.1PVD设备停止工作之后再次启动时，要对溅射出来的薄膜按技术要求自检至少10PCS。3.2设备溅射室若经破真空后再次工作时，需经预抽高真空、预溅射靶材表面处理（溅射干净的普通白玻或者待再生电池芯片20PCS以上），试镀电池片，确认不会脱膜、电阻正常、铝膜颜色正常后方可量产。3.3镀膜过程中，注意靶功率、氩气流量、低速、靶室的真空度、前级真空、传动、分子泵电源参数等是否正常。3.4及时点检和更换靶材，防止靶材消耗过多，造成靶材击穿、设备损坏。3.5系统维护不得轻易开启，如开启后应在完成相应操作后立即关闭。3.6

7、每次更换靶材后将相应被更换靶材的靶消耗清零，电池片累计清零后才能生产，其余时间不得将靶消耗、电池片累计清零。3.7如果PVD腔室内发生卡片或其它异常需要手动处理时，需要将分子泵关闭、进出片室预抽阀关闭、前级阀关闭后再手动操作，保证设备安全。3.8观察辉光后需要及时把观察窗关上，防止观察窗被镀上铝。3.9空跑用的干净的白玻璃或待再生电池芯片不可有铝膜脱落现象，并且PVD传送导轮接触面不可镀铝，且每次空跑都需要用白手套将膜面及玻璃面擦拭干净。3.10换靶、清洁靶室或真空设备维修等需要拆盖的操作在装盖后先锁紧一次螺丝，在抽真空后再锁紧一次螺丝。3.11下述清洁度预

8、防措施，对于在实践中获得好的真空度来说，是有代表性的