气压器7250xi使用说明书

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1、7250压力控制器操作说明7250压力控制器中文说明1目录1．1概述…………………………………………………………………………………51．2基本信息1．3特性1．4标准配置和选件……………………………………………………………………62操作原理………………………………………………………………………………72．1概述2．2电源2．3电气模块2．3．1后面板2．3．2微处理器板2．3．3数字控制板2．3．4IEEE-488接口…………………………………………………………………82．3．5前面板2．4气动模块…………

2、…………………………………………………………………92．4．1气动测量模块…………………………………………………………………112．4．1．1参考口2．4．1．1．1气压传感器2．4．1．2测试口2．4．2气动控制模块2．4．2．1气源压力口2．4．2．2真空源（Exhaust）口2．4．2．3压力控制2．5控制原理…………………………………………………………………………122．5．1内环和外环控制回路2．5．2正常模式2．5．3快速模式2．5．4内环和外环同时控制2．5．5PID控制2．6传感器模块………

3、………………………………………………………………132．6．1石英波端管传感器（01传感器）2．6．2传感器板块2．6．3线性2．6．4辅助传感器2．6．4．1真空传感器2．7软件………………………………………………………………………………142．7．1安全因素2．7．1．1防止操作错误2．7．1．2气动错误2．7．1．3关断7250压力控制器中文说明22．7．1．4炉温控制2．7．1．5压力值读取和校正3安装……………………………………………………………………………………163．1概述3．2拆除主机包装3

4、．3注意3．4打开主机电源3．4．1Observingthedpc’sfullscalerating3.5气动连接……………………………………………………………………………173．5．1气源压力口3．5．2排气口3．5．2．1绝压模式3．5．3测试口3．5．4参考口3．5．5真空传感器的安装……………………………………………………………184本机操作………………………………………………………………………………214．1指南4．1．1选择语言………………………………………………………………………234．1．2

5、选择操作模式4．1．2．1模拟绝压4．2主菜单4．3控制压力…………………………………………………………………………244．3．1设置压力点4．3．2进入/退出压力控制模式4．4排空………………………………………………………………………………254．5步进/连动4．5．1步进模式4．5．1．1设置步进值4．5．2连动4．6菜单………………………………………………………………………………264．6．1菜单

6、设置4．6．1．1菜单

7、设置－极限4．6．1．1．1上限值4．6．1．1．2下限值……………………………

8、……………………………………274．6．1．1．3自动排空4．6．1．1．4控制阈4．6．1．1．5控制4．6．1．1．6压力变化率4．6．1．1．7压力变化率极限4．6．1．1．8Access4．6．1．2Menu

9、Setup–User7250压力控制器中文说明34．6．1．2．1步进值…………………………………………………………………284．6．1．2．2BargraphMaximum4．6．1．2．3控制稳定阈4．6．1．2．4气柱差修正4．6．1．2．5大气压4．6．1．2．6压力采样4．6．1．2

10、．7改变压力显示数位4．6．1．2．8按键声音4．6．1．3菜单

11、设置－单位…………………………………………………………294．6．1．4菜单

12、设置-远程4．6．1．4．1GPIB地址4．6．1．4．2协议(Protocol)4．6．1．4．3串口设置4．6．1．5菜单

13、设置――系统4．6．1．5．1日期/时间……………………………………………………………314．6．1．5．2Reset键4．6．2菜单

14、校准4．6．2．1校准密码4．6．2．2清零操作4．6．3菜单

15、程序(MENU

16、PROGRAM)――保存

17、校验过程………………………324．6．3．1准备编程4．6．3．2进入一个新的程序4．6．3．3自动产生一个程序………………………………………………………344．6．3．4改变程序的程序名4．6．3．5修改已存在的程序………………………………………………………354．6．3．6修改和程序一起保存的配置……………………………………………364．6．3．7运行一个程序4．6．4．菜单

18、测试……………………………………