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《激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。
1、第12卷第3期光学精密工程Vol.12No.32004年6月OpticsandPrecisionEngineeringJun.2004文章编号1004924X(2004)03025906激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正王志娟,郭晓光,孙继凤,汤建华,于前洋(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033)摘要:为了减小激光调阻机测量系统的多档测量误差对阻值修调精度的影响,提出了一种基于有源单臂电桥测量原理自适应地校正激光调阻机多档测量误差的方法。通过测量和标定高精度标准电阻的测量误差,自适应地获取校正激光调阻机多档测量误差的
2、系列修正值,进而用系列修正值对所有待修调电阻的阻值测量误差进行校正,达到进一步减小系统测量误差的目的。实践证明,在测量硬件电路保证高稳定性、微小波动性测量的前提下,应用该方法可使测量系统的精度指标达到:低阻区(R<100)为0.5;中阻区为0.2;高阻区(R1M)为2。关键词:激光调阻机;有源单臂电桥;测量系统;测量误差;电阻标定中图分类号:TN249文献标识码:AAdaptivecorrectionofmultirangemeasuringerrorsoflaserresistortrimmingmachineWANGZhijuan
3、,GUOXiaoguang,SUNJifeng,TANGJianhua,YUQianyang(ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130022,China)Abstract:AnadaptivecorrectionmethodbasedonthemeasuringtheoryofWheatstonebridgeisproposedtoreducetheeffectofthemultirangemeasuringerrors
4、ofalaserresistortrimmingmachineontheresistanceadjustingaccuracy.Thecorrectedvaluesinseriestobeusedforcorrectionofmultirangemeasuringerrorsoflaserresistortrimmingmachineareadaptivelyobtainedbymeasuringandcalibratingthemeasuringerrorsofhighprecisionstandardresistors,andtheycanbeusedt
5、ocorrectalltheresistancemeasuringerrorsofresistorstobeadjustedtofurtherreducethesystemmeasuringerrors.Itisprovedinpracticethatifameasuringsystemhasgoodstabilityandlowfluctuation,theprecisionofmeasuringsystemcouldbe0.5inlowresistance(R<100)zone;0.2inmiddleresistancezone;2inhigh
6、resistance(R1M)zone.Keywords:laserresistortrimmingmachine;Wheatstonebridge;measuringsystem;measuringerror;resistorcalibration面积,从而把低于目标阻值的电阻体阻值修调到[13]1引言允许的误差范围内。其调阻范围一般为0.1~100M,调阻精度可达到0.1%。激光调阻机是高精度修调片式膜电阻阻值的激光调阻机的工作过程为:激光调阻机通过设备,它利用激光打点切割改变电阻体的导电截实时、在线、精确的阻值测量系统检测待修调电阻收
7、稿日期:20031215;修订日期:20040126.基金项目:国家高技术产业化光电子专项项目(No.2002055)和长春市科技攻关计划项目(No.02130G22)260光学精密工程第12卷的阻值,精确控制激光在待修调电阻体上的刻蚀长度及方向,因此高精度的阻值测量系统是激光2激光调阻机测量系统及其测量误调阻机实现调阻精度的前提。本文介绍的激光调差阻机多档测量误差的软件自适应校正方法通过标[4]定高精度标准电阻的测量误差,自适应地获取校2.1激光调阻机测量系统的工作原理正激光调阻机多档测量误差的系列修正值,进而激光调阻机测
8、量系统组成
